ceramic-knife

ICA自动加工设备

ICA Automatic Processing Equipment

ICA自动加工设备

产品介绍

核心功能:劈刀ICA结构专项加工,实现复杂结构的精准成型。

适用场景:特殊规格半导体陶瓷劈刀ICA结构加工。

功能特性

多轴联动全闭环控制调节;模块化设计,可根据产品规格快速换型

双视觉测量工位:自动聚焦、自动调心、自动加工后测量

扩孔(CD-Hole)能力:5~30微米

扩孔精度:±1.27微米;TIR ≤1.27微米

加工周期:65~200秒

技术参数

核心功能劈刀ICA结构专项加工
适用场景特殊规格半导体陶瓷劈刀ICA结构加工
扩孔能力5~30微米
扩孔精度±1.27微米
TIR≤1.27微米
加工周期65~200秒
换型方式模块化设计,可快速换型

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